PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

V76帶T-Motion的大型傳輸閥/插入件是為滿足太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的。V76專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而開發(fā)，在大型傳輸閥（≤2秒，150?mm開口高度）。V76的設(shè)計目標(biāo)是在超過一百萬次循環(huán)的生命周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)高正常運(yùn)行時間和可靠運(yùn)行。

V76使用的T-Motion技術(shù)基于模塊化平臺概念，并針對關(guān)鍵的太陽能和顯示應(yīng)用進(jìn)行了全面優(yōu)化：

lPECVD/ETCH：對于這些應(yīng)用，V76版本的閥門上提供了一種特殊的服務(wù)功能，允許在真空下傳輸室保持生產(chǎn)模式的同時，保持工藝室的閘門。這一特性尤為重要，因?yàn)樵?/span>PECVD和ETCH工藝中，需要頻繁清潔和更換閘門密封。軟移動、雙作用T型運(yùn)動機(jī)構(gòu)沿整個密封表面提供均勻的密封壓力，減少所需的密封載荷，最大限度地減少密封磨損。這降低了閥門壽命期間的FFKM密封成本。

lOLED/PVD和負(fù)載鎖：使用V76的修改版本，使用更大的壓力元件，可以施加全壓差。該版本提供OLED的“超清潔"配置，并為PVD和負(fù)載鎖定應(yīng)用提供高速選項。

V76系列有帶外殼的標(biāo)準(zhǔn)傳輸閥或直接安裝在工藝室中的插入式版本。

V76系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百個太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)中，證明了其在各個方面的出色性能。

與所有PRECESS輸送閥解決方案一樣，V76大型輸送閥/帶T-Motion的插入件是根據(jù)客戶的確切規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護(hù)的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。

特征

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-9半E24-92半E21.1-1296）

l通過使用獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動，實(shí)現(xiàn)了更快、更平穩(wěn)的執(zhí)行

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點(diǎn)

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

l氣動執(zhí)行器雙作用

應(yīng)用

l太陽能、FPD加工

l高運(yùn)行速度下的低沖擊

l位置3允許在對閥門進(jìn)行維護(hù)工作時保持一個腔室處于真空狀態(tài)

lLCD/平板加工

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

技術(shù)參數(shù)