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產(chǎn)品中心PRECESS普瑞賽思普瑞賽思真空閥門V70PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
產(chǎn)品簡介
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動執(zhí)行器驅(qū)動的L型運動。在L型運動中，隔板垂直移動到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然后在最終運動中水平推至隔板座，密封件以固定力接觸隔板座，該力與連接的氣壓相關(guān)。這不僅避免了摩擦和由此產(chǎn)生的潛在顆粒生成，還最小化了密封件的磨損。
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產(chǎn)品分類article
相關(guān)文章| 品牌 | 域勢科技 | 外形尺寸 | 50*336mm |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）
為了最小化顆粒生成和激活，隔板上安裝了插入式O形圈密封，硫化密封件是一種選擇。這是一種高度可靠且比標準O形圈密封更耐用的密封解決方案，盡管標準O形圈密封也可作為選項提供。軸通過高耐用金屬焊接波紋管進行密封。
在斷電情況下，V70可以在關(guān)閉位置機械鎖定。 已經(jīng)在各種半導體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個苛刻應(yīng)用中安裝使用，V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅固的設(shè)計以及簡化和易于維護的特點，V70系列在各個方面都令人信服。
V70換向閥始終根據(jù)客戶規(guī)格定制。盡管如此，四種基本設(shè)計類型是預定義的：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)部或外部腔室閥座的插入類型。
閥體材料選項包括鋁、硬陽極氧化、鎳鍍層或不銹鋼。閘門和蓋子密封件為FKM或FFKM。其他密封材料可根據(jù)要求提供。
特征：
l半標準應(yīng)用（半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296）
l低振動。獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度
l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器
l機械鎖處于關(guān)閉位置
優(yōu)點：
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
應(yīng)用：
l半導體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群真空系統(tǒng)
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）
技術(shù)參數(shù)
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