Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

萊寶TTR101N真空變送器是結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理的新型復(fù)合真空規(guī)。它測(cè)量精度高，而且在10mbar到1500mbar的測(cè)量范圍之間，不受被測(cè)氣體的影響。

TTR101N 真空計(jì)含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。其中，MEMS 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果，它包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面，芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面，由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此傳感器對(duì)安裝位置并不敏感，通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。另一個(gè)壓電傳感器則基于相對(duì)于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測(cè)量結(jié)果，可獨(dú)立于氣體成分和濃度來(lái)測(cè)量真實(shí)的絕對(duì)壓力。

這兩個(gè)傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

在一些嚴(yán)苛條件下，灰塵和其他顆粒物可能會(huì)加大測(cè)量誤差，縮短使用壽命，建議選用過(guò)濾器。

技術(shù)參數(shù)：

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

典型應(yīng)用：

l 粗真空到高真空范圍的一般真空測(cè)量與控制

l 前級(jí)真空壓強(qiáng)測(cè)量

l 真空系統(tǒng)控制

l 進(jìn)樣室

l 高真空電力真空規(guī)控制

選配件

灰塵和其他顆粒物可能會(huì)加大測(cè)量誤差，縮短使用壽命。因此本公司建議嚴(yán)苛條件下應(yīng)選用過(guò)濾器。