標(biāo)準(zhǔn)范圍( 空氣/用戶可調(diào) )1

LFE1400 從 0-1000 Ln/min 至 0-1400 Ln/min

LFE1000 從 0-700 Ln/min 到 0-1000 Ln/min

LFE700 從 0-500 Ln/min 至 0-700 Ln/min

LFE500 從 0-350 Ln/min 至 0-500 Ln/min

氣體

最大流量

CORE

PRIME

PRIME H2

空氣

0-1400 Ln/min

?

?

?

N2

0-1400 Ln/min

?

?

?

Ar

0-1240 Ln/min

?

?

?

He

0-1400 Ln/min

?

?

二氧化碳

0-740 Ln/min

?

?

一氧化碳

0-1390 Ln/min

?

?

H2

0-2900 Ln/min

?

以上是為每個(gè)傳感器預(yù)編程的默認(rèn)氣體。更多氣體可作為選件添加2。
  1 除非明確說(shuō)明，否則zhiding的流量范圍適用于 1013.25 bara （760 mmHg） 和 0 °C（32   °F） 的等效空氣流量。其他常見(jiàn)的流量、溫度和壓力單位可通過(guò) V?gtlin Connect 應(yīng)用程序或數(shù)字通信接口進(jìn)行選擇。更多信息請(qǐng)參見(jiàn)d·flux操作說(shuō)明。
  2 其他氣體或氣體混合物可添加到上述標(biāo)準(zhǔn)列表中。每個(gè)單元最多可以存儲(chǔ) 15 種氣體。儲(chǔ)存的氣體可以用另一種氣體或氣體混合物（空氣除外）代替。編程氣體/混合物可通過(guò) V?gtlin Connect 應(yīng)用程序或數(shù)字通信接口進(jìn)行選擇。
  有關(guān)其他氣體、氣體混合物和參考條件，請(qǐng)聯(lián)系工廠。僅適用于干燥和清潔的氣體。

配置 文件

客戶定義的配置文件

多達(dá) 15 個(gè)用戶可編程配置文件配置文件是預(yù)設(shè)配置，客戶可以在其中為多達(dá) 15 種不同的應(yīng)用設(shè)置氣體、范圍、動(dòng)態(tài)、累加器、工程單位和參考條件

性能數(shù)據(jù)

準(zhǔn)確性

A1 Core：±用戶滿量程的 0.5% ±測(cè)量值的 1%。

B1 Prime：±用戶滿量程的0.3%±測(cè)量值的0.7%。

B2 Prime高精度：±用戶滿量程的0.3%±測(cè)量值的0.5%。

即將推出（氫氣應(yīng)用）：

B3 Prime H2：±用戶滿量程的 0.3% ±測(cè)量值的 0.7%。

B4 Prime H2高精度：±用戶滿量程的0.3%±測(cè)量值的0.5%。

用戶滿量程 = ～70…100%標(biāo)準(zhǔn)范圍。

介質(zhì)

與所選材料兼容且數(shù)據(jù)可在

NIST refprop 數(shù)據(jù)庫(kù)中獲得的所有氣體和氣體混合物。

請(qǐng)聯(lián)系工廠了解更多信息。

動(dòng)態(tài)范圍

固定動(dòng)態(tài)：大多數(shù)氣體為 1：100* VADy 動(dòng)態(tài)：高達(dá) 1：1000（僅適用于流量表）  在訂購(gòu)過(guò)程中可以選擇 VADy®® 或固定動(dòng)態(tài)范圍。

可以使用 V?gtlin Connect應(yīng)用程序隨時(shí)更改此設(shè)置。 *動(dòng)態(tài)范圍取決于氣體和壓力，較高的壓力意味著較低的動(dòng)態(tài)范圍。

響應(yīng)時(shí)間

流量計(jì)：120毫秒/控制器：2000毫秒（根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)SEMI E17-1011）* 更新時(shí)間質(zhì)量流量值：10毫秒/傳感器采樣率：1毫秒

* 具有優(yōu)化的過(guò)濾器設(shè)置。所有過(guò)濾模式和值都可以通過(guò)V?gtlin Connect應(yīng)用程序或數(shù)字通信接口進(jìn)行設(shè)置。

重復(fù)性

±工廠滿量程的0.2%（根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E56-0309）

長(zhǎng)期穩(wěn)定性

常規(guī)配置 < 測(cè)量值的0.2%/年

電源

流量計(jì)：15-36 Vdc，（200 mA@24Vdc，穩(wěn)壓）/流量控制器：24 Vdc±10%，（2000mA@24Vdc，穩(wěn)壓） 通過(guò) M8-4P 連接或可選的 D -sub 連接

供電（紋波峰峰值不應(yīng)超過(guò) 100 mV）

我們建議本機(jī)的主體正確接地

操作壓力

1 至 14 bar a

溫度（環(huán)境/氣體）

-20 至 +60 °C （-4 至 140 °F）

濕度氣體

0-95% 相對(duì)濕度（無(wú)冷凝）

壓力靈敏度

prime和prime H2 傳感器：   <0.05%/bar 出廠滿量程（空氣）。

Core sensor：出廠滿量程的 < 0.08%   + 測(cè)量值的0.1% /bar（空氣）。

溫度靈敏度

<0.02% FFS* 每 1 °C 進(jìn)氣溫度 @ 7 bar a 壓力

*工廠滿量程（設(shè)備的最大流量范圍）

精度溫度

通常± 0.5 °C（未經(jīng)認(rèn)證）

精度 絕對(duì)壓力

<0.5% MV（未經(jīng)認(rèn)證）

預(yù)熱時(shí)間

<2秒，實(shí)現(xiàn)全精度

材料

接液部件

密封圈：現(xiàn)已上市：FKM，EPDM（僅限流量計(jì)）。EPDM（流量控制器，2023年上市）、

FFKM閥座（2023年上市）。完整的FFKM版本（應(yīng)要求提供）。

閥體：不銹鋼316L（1.4404）。

閥門（控制器）：316 （1.4401）、416 （1.4005）、430F （1.4104）。

入口過(guò)濾器：不銹鋼 316 （1.4401），緊固不銹鋼 （1.4122） 或同等產(chǎn)品。

A1 核心傳感器：不銹鋼 316Ti （1.4571），硅、金、玻璃、硅膠封裝、PBT。

30GF，陶瓷。B1 主用傳感器：不銹鋼   316L （1.4404）。

B2 Prime H2 傳感器：不銹鋼 316L （1.4404），帶金色涂層。

電子外殼

粉末涂層不銹鋼

集成入口過(guò)濾器

50微米SS316（1.4401）過(guò)濾器/不可客戶更換/緊固件材料SS（1.4122）

接液部件表面粗糙度

1.6 Ra μm 或更高（請(qǐng)聯(lián)系工廠以獲取更低的 Ra 值）

集成與安裝

模擬信號(hào)輸出

線性 4–20 mA 或客戶定義（最大 20 mA）用戶可選

線性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客戶定義（最大 10 V） 用戶可選

mA 輸出：740 歐姆最大負(fù)載電阻 電壓輸出：1000 歐姆最小負(fù)載電阻

所有模擬輸出均經(jīng)過(guò)電隔離和保護(hù)。如果與模擬信號(hào)一起使用，則增加0.2%的FFS不確定性

模擬信號(hào)設(shè)定值

線性 4–20 mA 或客戶定義（最大 20 mA）用戶可選

線性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客戶定義（最大 10 V）用戶可選

數(shù)字信號(hào)輸出

RS-485 （Modbus RTU 2線）

Modbus 地址可通過(guò)外殼外部的 2 個(gè)旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)進(jìn)行設(shè)置。

所有Modbus設(shè)置都可以通過(guò)V?gtlin Connect應(yīng)用程序進(jìn)行設(shè)置。

可選ProfiNet或EtherCAT

帶集成交換機(jī)的雙端口 RJ45（易于菊花鏈） RJ45 LED 指示網(wǎng)絡(luò)上的鏈路和活動(dòng) / 以太網(wǎng)速度：最大 100 Mbit

ProfiNet：PROFINET IO 規(guī)范 v2.33 / PROFINET IO 設(shè)備一致性等級(jí) B （RT） / 字節(jié)序：符合西門子 S7（大）

EtherCAT：IEC 標(biāo)準(zhǔn) IEC61158 / 字節(jié)序：小

Ethernet IP 將于 2023 年底上市。

配置界面

藍(lán)牙4.0（免費(fèi)的V?gtlin Connect應(yīng)用程序可從Google Play商店獲得）

輸出 I/O mosfet

通過(guò) M8-4P 連接器提供外部截止閥或報(bào)警的開(kāi)/關(guān)

觸點(diǎn)類型：mosfet   transistor

最大電壓：36 Vdc，最大電流 500 mA（聚乙烯保護(hù)）

電氣連接

9 針 D-sub 公頭（電源和信號(hào)） M8-4P 連接器（集電極開(kāi)路輸出 + 電源）

可選 2 x RJ45 （以太網(wǎng)/丙烯）

過(guò)程連接

1“ BSPP 內(nèi)螺紋 （G1"）

可選 1/2“ BSPP，1" 壓縮接口 或 50.5mm 卡箍法蘭 （ISO）（請(qǐng)參閱附件選項(xiàng)卡）

入口部分

如果安裝了我們的標(biāo)準(zhǔn)入口過(guò)濾器/調(diào)節(jié)器，則不需要過(guò)濾器。

沒(méi)有過(guò)濾器/調(diào)節(jié)器 建議使用 10 D 直管段入口 入口過(guò)濾器可在訂購(gòu)時(shí)取消選擇

壓降

流量計(jì)：出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn) 400 mbar 滿量程空氣排放到大氣中（帶過(guò)濾器/調(diào)節(jié)器）

可選：出廠時(shí) 325 mbar 滿量程空氣排放到大氣中（無(wú)過(guò)濾器/調(diào)節(jié)器） 壓降取決于工作壓力（更高的壓力 = 更低的壓降）

欲了解更多信息，請(qǐng)咨詢您的銷售合作伙伴

控制器：1400 ln/min （空氣），所需的最小壓差 < 2 bar

請(qǐng)聯(lián)系您的銷售伙伴了解其他壓降要求

安裝方向

所有方向都可以

重量

流量計(jì)：3.7 千克/  流量控制器：8.7 千克（不包括以太網(wǎng)和配件）

安全

生產(chǎn)后的測(cè)試壓力

28 bar a

最大過(guò)壓傳感器

核心傳感器：28 bar a，prime和prime H2 傳感器：90 bar a

破裂壓力

流量計(jì)： 100 bar a / 流量控制器： 70 bar a

泄漏率

< 1 x 10-6 毫巴升/秒 He

防護(hù)等級(jí)

如果使用 IP54-D-sub，則達(dá)到 IP54（請(qǐng)參閱附件選項(xiàng)卡）

對(duì)于可選的EtherCAT/Profinet：IP40

認(rèn)證

EMC

IEC/EN61326-1， IEC/EN61000-6-2/4

防爆認(rèn)證

沒(méi)有

材質(zhì)證書

將于 2023 年發(fā)布（僅適用于儀表）

FDA

將于 2023 年發(fā)布（僅適用于儀表）

PED

合規(guī)。由于該裝置具有 1“ 過(guò)程連接，因此符合壓力設(shè)備指令（PED）（4/3/EU） 第 2014 條第 68 款中定義的SEP

RoHS?/?REACH

所有組件均符合 2002/95/EC （RoHS） 和 REACH 準(zhǔn)則

保證

1年，除非使用某些腐蝕性/危險(xiǎn)氣體（HCL，CL2，F2，H2S，SO2）