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使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質量流量控制器配備氣動截止閥，可用于控制真空應用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質量流量或壓力。可以控制腐蝕性氣體。

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質量流量控制器可以同時控制質量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時測量多達 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質量流量控制器可以在可用系統壓力非常小時（壓降低至 0.07 PSID）時控制兩個方向的質量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質量流量泵控制器很容易與現有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨的PID控制器即可實現自動化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。 該精密控制器讀取質量流量在40毫秒，并發送數字信號，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高達200 cP的氣體和液體，流速高達300 kg/h。

Alicat艾里卡特MBS耐腐蝕氣體質量流量計（便攜式）可測量 130 多種氣體的質量流量和體積流量，包括 32 多種腐蝕性氣體，使其成為流動腐蝕性氣體過程的移動校準、驗證和驗證的理想選擇。

Alicat艾里卡特MWB低壓損氣體質量流量計（便攜式）測量質量和體積流量,壓力降至0.07pid(4.8mb),用于沒有可用壓力的系統。

Alicat艾里卡特MBQ便攜高壓氣體質量流量計在操作壓力下測量質量和體積流量最高為320psIA(22bra)。

Alicat艾里卡特PCS系列防腐蝕壓力控制器(絕對壓力和測量)控制所有無腐蝕性氣體的絕對壓力或表壓壓力,適用腐蝕性氣體和各種液體。

Alicat艾里卡特PC3系列壓力控制器（帶遠程傳感）測量系統中任何一點的絕對壓力或測量壓力,控制不同點的流量,這樣你就可以在需要的地方保持壓力。